Offene Längenmessgeräte
Offene Längenmessgeräte kommen an Maschinen und Anlagen zum Einsatz, die eine hohe Genauigkeit des angezeigten Messwerts erfordern.
Typische Einsatzgebiete sind:
- Fertigungs- und Messeinrichtungen der Halbleiter-Industrie
- Bestückungsautomaten
- Ultrapräzisions-Maschinen und -Apparaturen
- hochgenaue Werkzeugmaschinen
- Messmaschinen und Komparatoren, Messmikroskope und andere
- Präzisionsgeräte der Messtechnik
- Direktantriebe
Absolute Positionserfassung
| Baureihe | Beschreibung | Positionsabweichung pro Signalperiode | Messlänge |
|---|---|---|---|
| Die offenen Längenmessgeräte LIC ermöglichen eine absolute Positionserfassung über große Verfahrwege bis 27 m bei ebenfalls hoher Verfahrgeschwindigkeit. Sie entsprechen in Montage und Abmessungen dem LIDA 400. | ± 0,08 µm | bis 27040 mm | |
| Die offenen Längenmessgeräte LIP zeichnen sich durch kleinste Messschritte bei gleichzeitig höchster Genauigkeit und Wiederholbarkeit aus. Sie arbeiten nach dem interferentiellen Abtastprinzip und besitzen als Maßverkörperung ein DIADUR-Phasengitter. | ± 0,001 µm | 20 mm bis 3040 mm |
Inkrementale Längenmessung
| Baureihe | Beschreibung | Positionsabweichung pro Signalperiode | Messlänge |
|---|---|---|---|
| Die offenen Längenmessgeräte LIP zeichnen sich durch kleinste Messschritte bei gleichzeitig höchster Genauigkeit und Wiederholbarkeit aus. Sie arbeiten nach dem interferentiellen Abtastprinzip und besitzen als Maßverkörperung ein DIADUR-Phasengitter. | bis zu ± 0,04 µm | bis 3040 mm | |
| Die offenen Längenmessgeräte LIF verfügen über eine im SUPRADUR-Verfahren hergestellte Maßverkörperung und arbeiten nach dem interferentiellen Abtastprinzip. Sie besitzen eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit, lassen sich besonders einfach montieren und verfügen über Limit-Schalter und Homing-Spur. Die spezielle Version LIF 481 V kann im Hochvakuum bis 10–7 bar eingesetzt werden (siehe separate Produktinformation). | ± 0,04 µm | bis 1020 mm | |
| Die offenen Längenmessgeräte LIDA eignen sich besonders für hohe Verfahrgeschwindigkeiten bis 10 m/s. Sie sind durch die verschiedenen Montagemöglichkeiten besonders flexibel einsetzbar. Je nach Version dienen Stahlmaßbänder, Glas oder Glaskeramik als Träger für METALLUR-Gitterteilungen. Sie verfügen über einen Limit-Schalter. | bis zu ± 0,2 µm | bis 30040 mm | |
| Das Zwei-Koordinaten-Messgerät PP besitzt als Maßverkörperung eine im DIADUR Verfahren hergestellte flächige Phasengitterstruktur die interferentiell abgetastet wird. Dadurch ist die Positionserfassung in der Ebene möglich. | ± 0,04 µm | Messbereich 68x68mm |
