Offene Längenmessgeräte

offene_lmgOffene Längenmessgeräte kommen an Maschinen und Anlagen zum Einsatz, die eine hohe Genauigkeit des angezeigten Messwerts erfordern.
Typische Einsatzgebiete sind:

  • Fertigungs- und Messeinrichtungen der Halbleiter-Industrie
  • Bestückungsautomaten
  • Ultrapräzisions-Maschinen und -Apparaturen
  • hochgenaue Werkzeugmaschinen
  • Messmaschinen und Komparatoren, Messmikroskope und andere
  • Präzisionsgeräte der Messtechnik
  • Direktantriebe

Absolute Positionserfassung

BaureiheBeschreibungPositionsabweichung pro SignalperiodeMesslänge

LIC

Die offenen Längenmessgeräte LIC ermöglichen eine absolute Positionserfassung über große Verfahrwege bis 27 m bei ebenfalls hoher Verfahrgeschwindigkeit. Sie entsprechen in Montage und Abmessungen dem LIDA 400.± 0,08 µmbis 27040 mm

LIP 200

Die offenen Längenmessgeräte LIP zeichnen sich durch kleinste Messschritte bei gleichzeitig höchster Genauigkeit und Wiederholbarkeit aus. Sie arbeiten nach dem interferentiellen Abtastprinzip und besitzen als Maßverkörperung ein DIADUR-Phasengitter.± 0,001 µm20 mm bis 3040 mm

Inkrementale Längenmessung

BaureiheBeschreibungPositionsabweichung pro SignalperiodeMesslänge

LIP

Die offenen Längenmessgeräte LIP zeichnen sich durch kleinste Messschritte bei gleichzeitig höchster Genauigkeit und Wiederholbarkeit aus. Sie arbeiten nach dem interferentiellen Abtastprinzip und besitzen als Maßverkörperung ein DIADUR-Phasengitter.bis zu ± 0,04 µmbis 3040 mm

LIF

Die offenen Längenmessgeräte LIF verfügen über eine im SUPRADUR-Verfahren hergestellte Maßverkörperung und arbeiten nach dem interferentiellen Abtastprinzip. Sie besitzen eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit, lassen sich besonders einfach montieren und verfügen über Limit-Schalter und Homing-Spur. Die spezielle Version LIF 481 V kann im Hochvakuum bis 10–7 bar eingesetzt werden (siehe separate Produktinformation).± 0,04 µmbis 1020 mm

LIDA

Die offenen Längenmessgeräte LIDA eignen sich besonders für hohe Verfahrgeschwindigkeiten bis 10 m/s. Sie sind durch die verschiedenen Montagemöglichkeiten besonders flexibel einsetzbar. Je nach Version dienen Stahlmaßbänder, Glas oder Glaskeramik als Träger für METALLUR-Gitterteilungen. Sie verfügen über einen Limit-Schalter.bis zu ± 0,2 µmbis 30040 mm

PP

Das Zwei-Koordinaten-Messgerät PP besitzt als Maßverkörperung eine im DIADUR Verfahren hergestellte flächige Phasengitterstruktur die interferentiell abgetastet wird. Dadurch ist die Positionserfassung in der Ebene möglich.± 0,04 µmMessbereich 68x68mm